A ejeção de material de uma superfície sólida ou líquida, após o impacto energéticos íons, átomos ou moléculas. Sputtering notou-se pela primeira vez em 1853, por w. R. Grove e em 1854 por M. Faraday como a ocorrência de um revestimento metálico sobre as paredes de vidro de um tubo de descarga. E. Goldstein em 1902, mostrou que a sputtering efeito foi causado por íons positivos da descarga golpeando o cátodo e ejetando material do cátodo. Sputtering agora é a base de uma grande variedade de métodos para a síntese e análise de materiais.